현장이 증명하는
에이치알테크의 기술력

문제 상황

장기 사용에 따른 홀 막힘 및 표면 오염 누적. 기존 협력사의 세정 후에도 파티클 재발생이 반복되어 수율 저하가 지속되었습니다.

해결 방법

초음파 세정 + DI 린스 다단계 공정 적용. Clean Room 1,000급 환경에서 홀 단위 이물질 완전 제거 후 마이크로미터·표면 거칠기 측정기로 치수 이상 유무를 전수 검사하였습니다.

문제 상황

반복 사용으로 Anodizing 피막이 부분 박리·부식되어 챔버 내 오염원으로 작용. 신품 교체 시 부품 단가가 높아 복원 처리 가능 여부를 요청하였습니다.

해결 방법

기존 피막 완전 제거 후 표면 처리 → Anodizing 코팅 재시공. 피막두께 측정기(2대)로 전면 균일도를 확인하고, 코팅 품질 보증서를 발행하여 납품하였습니다.

문제 상황

사용 후 스퍼터링 타겟에 잔존하는 귀금속을 자체 처리하기 어려워 외부 위탁을 검토. 회수 순도와 정산 투명성에 대한 신뢰 확보가 과제였습니다.

해결 방법

입고 → 무게 측정 → 분리작업 → 1차 추출 → 전해정제 → 펠렛 가공 전 공정을 당사 본사에서 일괄 처리. 회수량 전수 측정 후 성적서와 함께 정산 리포트를 제공하였습니다.

문제 상황

가공을 마친 Shower Head는 선반 가공 결과 광택 얼룩이 남아 있어 부위마다 표면 상태가 다릅니다. Shower Head는 수백 개의 미세홀로 공정 가스를 웨이퍼 위에 고르게 분사하는 부품이라, 표면이 균일하지 않으면 증착막 부착 상태가 달라지고 파티클 발생 위험이 커집니다.

해결 방법

오토샌딩기(로봇 샌딩)로 노즐 거리·압력·이송속도를 프로그램으로 고정해 비드 블라스팅을 적용했습니다. 미세홀 주변과 플랜지 단차, 가장자리까지 같은 조건으로 처리해 전면을 균일한 무광 표면으로 마무리했습니다.