현장이 증명하는
에이치알테크의 기술력

문제 상황

장기 사용에 따른 홀 막힘 및 표면 오염 누적. 기존 협력사의 세정 후에도 파티클 재발생이 반복되어 수율 저하가 지속되었습니다.

해결 방법

초음파 세정 + DI 린스 다단계 공정 적용. Clean Room 1,000급 환경에서 홀 단위 이물질 완전 제거 후 마이크로미터·표면 거칠기 측정기로 치수 이상 유무를 전수 검사하였습니다.

문제 상황

반복 사용으로 Anodizing 피막이 부분 박리·부식되어 챔버 내 오염원으로 작용. 신품 교체 시 부품 단가가 높아 복원 처리 가능 여부를 요청하였습니다.

해결 방법

기존 피막 완전 제거 후 표면 처리 → Anodizing 코팅 재시공. 피막두께 측정기(2대)로 전면 균일도를 확인하고, 코팅 품질 보증서를 발행하여 납품하였습니다.

문제 상황

사용 후 스퍼터링 타겟에 잔존하는 귀금속을 자체 처리하기 어려워 외부 위탁을 검토. 회수 순도와 정산 투명성에 대한 신뢰 확보가 과제였습니다.

해결 방법

입고 → 무게 측정 → 분리작업 → 1차 추출 → 전해정제 → 펠렛 가공 전 공정을 당사 본사에서 일괄 처리. 회수량 전수 측정 후 성적서와 함께 정산 리포트를 제공하였습니다.