반도체 부품 정밀 세정·코팅·유가금속 회수 서비스에 대해 거래처에서 가장 많이 묻는 질문들을 정리했습니다.
Ceramic, Anodizing, Metal 소재를 포함한 반도체 장비 부품을 세정합니다. 대표 부품으로 Shower Head, Focus Ring, Ring Confinement, Chamber Cover, Anode Shield, Shadow Ring, Sp Shield, Anode Ring, SUS PLATE 등이 있습니다.
처리 가능 여부는 부품 소재와 오염 유형에 따라 달라지므로, 먼저 문의 주시면 최적의 세정 방법을 제안드립니다.
일반 세정은 표면 먼지·이물질 제거에 초점을 맞추지만, 정밀 세정은 세 가지 면에서 근본적으로 다릅니다.
비드 블라스팅은 고압 압축 공기로 미세 세라믹·글라스 비드 입자를 부품 표면에 분사하여 오염층·산화막·잔류 피막을 물리적으로 제거하는 건식 표면처리 공정입니다.
주로 다음 두 경우에 적용합니다.
에이치알테크는 매뉴얼 Bead 5대와 로봇샌딩기 2대를 보유하여 부품 형상과 처리 규모에 따라 최적 방식을 선택합니다.
| 구분 | 매뉴얼 Bead (5대) | 로봇샌딩기 (2대) |
|---|---|---|
| 방식 | 숙련 작업자가 노즐 직접 조작 | 6축 로봇 아암이 자동 경로 제어 |
| 적합 대상 | 복잡한 형상·홀·내경 등 선택적 처리 (Shower Head 홀 주변, Ring 내경 등) | 단순·반복 형상의 대량 처리, 평탄면 위주 |
| 품질 특성 | 숙련도 기반 — 세밀한 부위 집중 처리 가능 | 균일한 압력·거리·경로로 반복 재현성 우수 |
| 주요 용도 | 국소 오염 제거, 코팅 전처리 맞춤 조도 확보 | 대량 물량 균일 표면처리, PM Kit 세정 |
부품 소재, 오염 유형, 후처리 공정(코팅 여부)에 따라 매뉴얼·로봇 방식을 단독 또는 복합 적용합니다.
초음파·화학 세정 방식을 기본으로 하여 치수 손상을 최소화합니다. 비드 블라스팅 적용 시에도 부품별 최적 압력·미디어를 선택하여 치수 변형을 방지합니다.
세정 전후 치수는 피막두께 측정기 2대, 초음파식 두께 측정기 1대, 마이크로미터 2대, 영상측정현미경으로 검증합니다.
정밀 세정을 마친 부품이 출하 전 재오염되면 세정 효과가 사라집니다. 에이치알테크의 Clean Room 1,000급 환경은 1ft³ 공간에 0.5μm 이상 파티클이 1,000개 이하인 수준으로, 세정 완료부터 포장·출하까지 전 과정을 클린룸 내에서 진행합니다.
이를 통해 고객사 장비 챔버에 부품이 투입될 때까지 세정 상태를 온전히 유지합니다.
정밀 세정 단독으로도 잔류 오염물을 완전히 제거하여 다음 PM 주기가 늘어납니다. 여기에 Arc Coating을 병행하면 챔버 표면의 내침식성이 향상되어 세정 주기(MTBC)를 최대 2배 이상 연장한 사례가 있습니다.
세정과 코팅을 원스톱으로 처리할 수 있어 물류 비용과 납기도 줄일 수 있습니다.
빠른 견적을 위해 아래 정보를 알려주시면 도움이 됩니다.
정확한 정보가 없어도 괜찮습니다. 부품 사진이나 간략한 설명만으로도 초기 상담이 가능합니다.
ISO 9001 기반 품질관리 체계 아래, 아래 7종 계측장비로 검사 후 출하합니다.
물량과 부품 상태에 따라 긴급 처리가 가능합니다. 상황별 협의가 필요하므로 전화(031-332-3808) 또는 문의 폼으로 먼저 연락 주세요.
에이치알테크는 Arc Coating 설비 1대, Frame Arc Coating 설비 1대를 각각 보유합니다.
사용 중 손상된 알루미늄 부품의 양극 산화 피막(Anodizing)을 완전히 제거하고 새로 재코팅하는 공정입니다.
피막이 벗겨지거나 얇아진 Chamber Cover, Shower Head, Anode Shield 등을 신품 수준으로 복원하여 부품 교체 비용을 크게 절감할 수 있습니다.
소재·공정 환경·오염 조건에 따라 다르지만, 신품 대비 동등 이상의 수명을 보장합니다.
PVD 챔버의 경우 Arc Coating 적용 시 MTBC(세정 주기)가 최대 2배 연장된 사례가 있으며, 교체 비용 절감 효과는 부품별로 별도 협의가 가능합니다.
피막두께 측정기 2대와 초음파식 두께 측정기 1대로 코팅 두께를 전수 검사합니다. 표면 거칠기 측정기 3대로 코팅 후 표면 품질도 확인하여 균일한 피막 상태를 보증합니다.
별도 전처리 없이 부품을 입고하셔도 됩니다. 에이치알테크에서 세정 → 비드 블라스팅(표면 조도 확보) → 코팅 순서로 원스톱 처리가 가능합니다.
코팅 전 표면 상태에 따라 최적의 전처리 공정을 자동 선택하므로 고객사 부담이 없습니다.
소재와 공정 조건에 따라 최적 코팅 방식을 제안드리므로, 먼저 문의해 주시면 구체적인 방향을 안내드립니다.
반도체 공정 스크랩·폐부품·폐타겟(Target)에서 아래 4종 유가금속을 회수합니다.
에이치알테크의 정련 기술로 4N5 (99.995%) 고순도 금속을 생산합니다. 이는 반도체·전자 부품 분야에서 요구하는 고순도 기준을 충족하는 수준입니다.
아래 7단계로 진행되며, 전 과정을 본사(원암로 20)에서 원스톱으로 처리합니다.
수량 제한 없이 소량부터 대량까지 의뢰 가능합니다. 먼저 문의 폼이나 전화(031-332-3808)로 연락 주시면 빠르게 안내드립니다.
회수 완료 후 분석된 금속 중량과 순도를 기반으로 정산합니다. 국제 귀금속 시세(런던 금시장 기준)를 참고하여 협의 후 정산하며, 정산 내역 명세서를 제공합니다.
가능합니다. 부품을 직접 가공하시는 고객사께서 샌딩(비드 블라스팅)과 정밀 세정 구간만 저희에게 맡기시는 형태로 거래가 이루어집니다.
특히 샌딩 직후 잔류 미디어와 분진을 같은 공간에서 곧바로 세정으로 제거하기 때문에, 두 공정을 각각 다른 업체에 맡길 때 발생하는 이송 중 재오염과 책임 소재 문제가 생기지 않습니다.
Shower Head, Focus Ring, 전극, 히터블록, 서셉터 등 식각 소모성 부품 전반을 처리합니다.
물량이 일정하지 않다면 위탁이 유리합니다. 로봇 샌딩 라인은 초기 투자 규모가 크지만, 가동률이 확보되지 않으면 설비비와 인건비가 고정비로 남습니다.
위탁하시면 사용하신 물량만큼만 비용이 발생합니다. 성수기에는 저희 캐파를 활용하시고, 비수기에는 비용이 함께 줄어듭니다.
블라스팅은 분진이 발생하는 공정이라 국소배기 설비, 집진 관리, 작업환경측정, 특수건강진단이 함께 따라붙습니다.
해당 공정을 외부로 분리하시면 이 인허가와 관리 책임이 사내에서 줄어듭니다. 에이치알테크는 블라스팅 전용 설비와 집진 시스템을 갖추고 법정 관리 항목을 이행하고 있습니다.
표면 균일도는 수작업에서 작업자 숙련도에 크게 좌우됩니다. 에이치알테크는 로봇 샌딩기 2대를 운용하여 노즐 거리·압력·이송속도를 프로그램으로 고정합니다.
사람이 바뀌어도 같은 조건이 재현되므로 표면 조도(Ra)의 산포가 작습니다. 요청하시는 조도 범위에 맞춰 조건을 설정하고, 로트별 측정값을 성적서로 함께 보내드립니다.
부품 형상이 복잡하거나 국소 부위만 처리해야 하는 경우에는 매뉴얼 Bead 5대로 대응합니다.
모델마다 노즐 거리·압력·미디어·이송속도가 달라야 하며, 이 세팅 노하우가 쌓이기 전에는 불량이 발생하기 쉽습니다.
에이치알테크는 모델별 조건표를 작성·관리하고 문서로 제공합니다. 초기 물량에서 확정한 조건이 이후 반복 발주에서도 동일하게 적용되므로, 고객사 품질팀이 매번 조건을 다시 검증하실 필요가 없습니다.
중요한 지적입니다. 소재에 맞지 않는 미디어를 사용하면 미디어 성분이 표면에 박혀 이후 공정에서 금속 오염으로 검출될 수 있습니다.
에이치알테크는 소재별 미디어 라인을 분리 운용하고 라인 세척 절차를 문서화하여 교차오염을 차단합니다. 처리 후에는 Clean Room 1,000급 환경에서 정밀 세정을 거쳐 잔류 입자를 제거하고, 세정 전후 데이터를 함께 제공합니다.
아래 절차로 진행됩니다.
26년 이상의 경력으로 신규 거래처도 빠르게 온보딩 지원합니다. 정확한 정보 없이 간략한 상황만 알려주셔도 초기 상담이 가능합니다.
가능합니다. 고객사 공정 정보·부품 사양·거래 내역은 철저히 비밀 보호됩니다. NDA 체결이 필요하신 경우 문의 시 함께 요청해 주세요.
사전 협의 후 제1공장(경기도 용인시 처인구 남사읍 원암로 497)에서 Clean Room 설비 견학이 가능합니다.
문의 폼에서 '현장 견학' 유형을 선택하시면 빠르게 일정을 조율해 드립니다.
26년 경력의 전문가가 직접 답변드립니다. 부품 사진이나 간단한 설명만으로도 상담이 가능합니다.