BEFORE
VS
AFTER
Shower Head (Front)
Bead Blasting
※ 고객사 설계 보호를 위해 부품 일부만 확대해 공개합니다.
Shower Head 등 반도체 장비 부품의 비드 블라스팅(오토샌딩)과 정밀 세정을 한 곳에서 처리합니다. 부품을 직접 가공하시는 고객사는 표면처리 구간만 맡기시면 됩니다.
Shower Head(가스 분배판)는 증착·식각 챔버 상부에서 수백~수천 개의 미세홀로 공정 가스를 웨이퍼 위에 고르게 분사하는 부품입니다. 플라즈마 장비에서는 상부 전극 역할도 하기 때문에, 표면 상태가 곧 공정 품질로 이어집니다.
홀 하나가 막혀도 가스 분포가 달라져 막 두께가 불균일해집니다. 블라스팅 후 홀 속에 잔류 미디어를 남기지 않는 것이 핵심입니다.
표면 조도가 부위마다 다르면 증착막의 부착 상태가 달라지고, 떨어져 나온 막은 파티클이 됩니다.
웨이퍼 결함의 직접 원인입니다. 소재에 맞는 미디어 선택과 처리 직후 세정이 함께 관리되어야 합니다.
플랜지 단차와 가장자리까지 고르게 처리하면서도, 부품 형상에는 영향을 주지 않아야 합니다.
입고부터 출고까지 한 곳에서, 모델별로 정해진 조건으로 처리합니다
설비 투자와 환경·안전 관리 부담 없이, 필요한 물량만큼 균일한 품질로 처리합니다
노즐 거리·압력·이송속도를 프로그램으로 고정해, 작업자가 바뀌어도 같은 표면 조도(Ra)를 재현합니다.
잔류 미디어와 분진을 같은 공간에서 곧바로 제거해, 이송 중 재오염과 공정 간 책임 소재 문제가 없습니다.
소재별로 미디어 라인을 분리 운용하고 라인 세척 절차를 문서화해 교차오염을 차단합니다.
모델별 처리 조건을 문서로 관리하고, 로트별 측정값을 성적서로 함께 보내드립니다.
물량이 일정하지 않아도 사용하신 물량만큼만 비용이 발생합니다.
분진이 발생하는 블라스팅 공정을 분리하면 국소배기·집진·작업환경측정 등의 관리 부담이 사내에서 줄어듭니다.
※ 고객사 설계 보호를 위해 부품 일부만 확대해 공개합니다.
식각·증착 장비의 소모성 부품 전반을 처리합니다. 형상과 소재를 알려주시면 처리 가능 여부를 확인해 드립니다.