Services

에이치알테크의
3대 핵심 서비스

세정·코팅·유가금속 회수까지, 반도체 공정 파트너로서 One-Stop 솔루션을 제공합니다.

01 — Precision Cleaning

반도체 부품
정밀 세정

Clean Room 1,000급 환경에서 Ceramic·Anodizing·Metal·AL Parts 등 다양한 반도체 장비 부품을 정밀 세정합니다. 오염된 표면을 원본 상태로 복원하여 부품 수명을 연장하고 교체 비용을 절감합니다.

Ceramic Parts 세정

쿼츠·세라믹 부품의 플라즈마 오염 제거, 투명도 완전 회복

Anodizing Part 세정

Chamber Cover·Anode Shield·Shower Head — 코팅 손상 없이 원복 상태로 복원

Metal Part 세정

Shadow Ring·Sp Shield Chuck·SUS Plate — Cu·Ti·Au 오염 완전 제거

AL Part 세정

알루미늄 계열 부품의 표면 오염물 제거 및 품질 복원

세정 서비스 상담하기
BEFORE
세정 전
VS
AFTER
세정 후
Shower Head Ceramic Parts
🏭
Clean Room 1,000급 운영
반도체급 정밀 세정이 가능한 고청정 환경 보유

세정 공정 흐름도

전문화된 다단계 공정으로 최상의 세정 품질을 보장합니다

1
입고 검사
Incoming
›
2
Hi Spray
1차 세척
›
3
Chemical
약품 처리
›
4
Ultra Sonic
초음파 세정
›
5
Rinse
세척·린스
›
6
중간 검사
Inspection
›
7
Bake
건조
›
8
최종 검사
& 출하
02 — Coating Solutions

내구성을 높이는
코팅 솔루션

전용 프레임 아크 코팅 설비로 반도체 장비 부품의 내식성·내플라즈마성을 강화합니다. 세라믹 산화물 피막을 균일하게 형성하여 부품 수명을 대폭 연장하고, 코팅 손상 없는 정밀 복원으로 교체 비용을 절감합니다.

Arc Coating

아크 방전을 이용한 고밀도 세라믹 피막 형성 — 내플라즈마성·내식성이 요구되는 Chamber 내부 부품에 최적

프레임 아크 코팅 (Frame Arc Coating)

전용 프레임 아크 설비 운용 — 대면적 균일 피막 형성, 강한 밀착력과 내플라즈마성 보장

Anodizing 코팅 복원

Chamber Cover·Anode Shield·Shower Head 등 양극산화 피막 손상 없이 정밀 복원

피막 품질 보증

피막두께 측정기·초음파 두께 측정기·표면 거칠기 측정기로 전수 검사

코팅 서비스 상담하기
BEFORE
코팅 전
VS
AFTER
코팅 후
Chamber Cover Anodizing Parts
⚡
Arc Coating 설비
1대 보유
🔧
Frame Arc Coating 설비
1대 보유
03 — Precious Metal Recycling

스크랩 속 가치를
자산으로 전환

세정 공정 중 발생하는 스크랩에서 Au(금)·Pt(백금)·Pd(팔라듐)·Ag(은)을 회수합니다. MAGELLAN Au(4N5) 분석기로 99.995% 고순도 정련 후 투명하게 고객사에 데이터를 제공합니다.

Au
금

Gold

반도체 공정의 핵심 유가금속. 고순도 4N5(99.995%) 정련

Pt
백금

Platinum

높은 내열성과 내식성. 고부가가치 희귀금속 회수

Pd
팔라듐

Palladium

전자부품 핵심 소재. 회수율 극대화 기술 보유

Ag
은

Silver

우수한 전도성 소재. 정확한 분석을 통한 투명한 회수

🔬 MAGELLAN Au(4N5) 분석기 보유
모든 과정은 투명하게, 모든 수치는 정직하게.
분석 데이터를 고객사에 직접 제공하여 신뢰를 보장합니다.
유가금속 회수 상담하기

One-Stop 가치 전환 프로세스

1
오염 부품 입고
고객사에서 오염 부품 수령
↓
2
정밀 세정 & 코팅
부품을 원본 상태로 복원 + 세정 중 스크랩 수거
↓
3
고순도 정련 (4N5)
스크랩에서 Au·Pt·Pd·Ag 추출 및 99.995% 정련
↓
🏆
고객사 경쟁력 강화
완벽히 재생된 부품 + 고가치 유가금속 자산 반환

정련 프로세스

01 무게측정
무게측정
02 분리작업
분리작업
03 1차 추출
1차 추출
04 전해정제
전해정제
05 펠렛가공
펠렛가공

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